| 激光和平面鏡安置在主軸和工作臺(tái)上，沿每一軸X軸、Y軸、Z軸分別分步交替移動(dòng)，這樣重復(fù)一直走到對(duì)角線的對(duì)角上。所有三個(gè)軸每一步移動(dòng)后對(duì)角線的定位誤差就采集到了。這項(xiàng)技術(shù)采集了三倍的數(shù)據(jù)量，并允許可以測(cè)量得到每一軸移動(dòng)時(shí)的位移誤差。
靶標(biāo)移動(dòng)的軌跡并不是直線，側(cè)向移動(dòng)是較大的。而傳統(tǒng)的干涉儀不允許這么大的側(cè)向移動(dòng)，測(cè)不到數(shù)據(jù)。而LDDM激光干涉儀使用一個(gè)平面鏡作靶標(biāo)，平行于鏡子的移動(dòng)不會(huì)轉(zhuǎn)移激光束，也不會(huì)改變從光源來(lái)的距離。因此，測(cè)量不會(huì)受到影響。
最多可以有四個(gè)工作位置的溫度傳感器連接到自動(dòng)溫度補(bǔ)償單元。自動(dòng)溫度補(bǔ)償也對(duì)諸如環(huán)境因素，如空氣溫度、大氣壓力以及機(jī)床溫度的變化提供補(bǔ)償。 
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